光学车间检测（原书第3版）--锻压网上书城--图书信息

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光学车间检测（原书第3版）

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【作者】（墨）马拉卡拉主编；杨力等译

【出版社】机械工业出版社

【出版日期】2012年6月

【I S B N】9787111373766

【版次】1

【开本】16

【页数】644

【装帧】平装

【图书状态】上架

【所属类别】工艺类 >> 综合类

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内容简介
本书原著是光学检测领域的权威著作之一，从第1版到第3版的再版历时三十年时间，第一版都深受光学检测领域读者的欢迎。本书（原书第3版）详细介绍了光学检测领域的各种仪器、方法和技术手段，以及三十年来光学检测领域的最新重要进展。
本书共分18章，主要内容包括：牛顿干涉仪，菲佐干涉仪,海丁格干涉仪，泰曼格林干涉仪，共光路干涉仪，横向剪切干涉仪，径向、旋转和反转剪切干涉仪，多光束干涉仪和多通道干涉仪的技术原理和使用方法；介绍了傅科刀口法、细丝法和调相法，朗奇检验法，哈特曼光阑检验、哈特曼夏克光阑检验及其他光阑检验，星点检验法，非球面波前和镜面的检验，泽尼克多项式与波前拟合，相移干涉测量，表面轮廓仪，多波长及白光干涉测量，散射表面光学检测，角度、棱镜、曲率半径和焦距的测量，光学面及其特性的数学描述等光学检测的主要技术手段和分析方法。
本书可供从事光学检验、检测、测试、计量与研究、设计与制造工作的广大科技人员参考，也可作为教材供相关专业学生及教师使用。
Optical Shop Testing/edited by Daniel Malacala.3rd ed.
ISBN:9780471484042(cloth/cd)
Copyright  2007 by John Willy & Sons,Inc.
All Rights Reserved.This translation published under license.
All Rights Reserved.Authorised translation form the English edition Published by John Wiley & Sons,Ltd.
China Machine Press is authorized to publish and distribute exclusively the Chinese (Simplified Characters)language edition.This editon is authorized for sale throughout Mailand of China.No part of the publication may be reproduced or distributed by any means,or stored in a database or retrieval system,without the prior written permission of the publisher.
北京市版权局著作权合同登记号：0120097018

图书目录
目录
译丛序言
第3版译者的话
第3版序
第1章牛顿干涉仪、菲佐干涉仪和海丁格干涉仪1
11引言1
12牛顿干涉仪1
121光源尺寸的考虑5
122几种合适的光源7
123制作平面样板的材料7
124估计最大误差的简单方法8
125球面的测量9
126非球面的测量10
127不透明表面平面度测量11
13菲佐干涉仪12
131基本的菲佐干涉仪12
132光源相干性要求14
133准直透镜质量要求14
134液体基准面15
135激光作为光源的菲佐干涉仪16
136多光束菲佐干涉仪16
137近似平行板的测量17
138检测大口玻璃和熔融石英试样的不均匀性18
139测量杆、块和平板面的平行度和平面度19
1310三面直角棱镜和直角棱镜的测量19
1311菲佐干涉仪检测曲面20
1312检测凹面和凸面2114海丁格干涉仪
141海丁格干涉仪的应用24
142用激光作为海丁格干涉仪光源25
143海丁格干涉仪的其他应用26
15平面的绝对测量28
参考文献31
第2章泰曼格林干涉仪33
21引言33
22分光镜34
221分光镜平板导致的光程差35
222平板分光镜的精度要求36
223偏振分光棱镜37
224非偏振分光棱镜39
23相干性要求40
231空间相干性40
232时间相干性43
24泰曼格林干涉仪的应用44
241棱镜和衍射光栅的检测45
242透镜的检测49
243显微物镜的检测50
25干涉仪内部畸变的补偿51
26非等程干涉仪52
261几种特殊设计53
262提高条纹稳定性54
27开放光路干涉仪55
271马赫泽德干涉仪55
272倾斜入射干涉仪56
28泰曼格林光路结构的变形57
281多幅成像干涉仪57
282使用衍射分光镜的干涉仪57
283相位共轭干涉仪57
29泰曼格林干涉图及其分析59
参考文献66
第3章共光路干涉仪70
31引言70
32使用两块匹配散射板的伯奇干涉仪70
321菲涅耳波带片干涉仪73
322伯奇和菲涅耳波带片干涉仪检测非球面73
323伯奇和菲涅耳波带片干涉仪测量相移74
33双折射分光镜75
331萨瓦偏光镜75
332渥拉斯顿棱镜76
333双焦系统77
34横向剪切干涉仪77
341萨瓦偏光镜的使用77
342渥拉斯顿棱镜的使用80
35双焦干涉仪81
36桑德斯棱镜干涉仪82
37点衍射干涉仪83
38采用共光路干涉仪的泽尼克检测85
参考文献86
第4章横向剪切干涉仪89
41引言89
42光源的相干性90
43横向剪切干涉计量的理论简介90
431球面和平面波前的干涉图样91
432横向剪切干涉中初级像差的干涉图样93
44未知波前的估计97
45平行光横向剪切干涉仪（白光补偿）99
451基于雅明（Jamin）干涉仪的横向剪切干涉装置99
452基于迈克耳逊干涉仪的横向剪切干涉装置100
453基于循环式干涉仪的横向剪切装置101
454基于马赫泽德干涉仪的横向剪切装置103
46会聚光横向剪切干涉仪（白光补偿）103
461基于迈克耳逊干涉仪的横向剪切装置103
462基于马赫泽德干涉仪的横向剪切装置105
47使用激光的横向剪切干涉仪107
48其他类型的横向剪切干涉仪113
481基于衍射原理的横向剪切干涉仪113
482基于偏振原理的横向剪切干涉仪116
49矢量剪切干涉仪118
491剪切干涉计量118
492定向剪切干涉仪119
493模拟干涉图样120
494实验结果123
495矢量剪切干涉仪和其他干涉仪的相似点和差别126
参考文献129
第5章径向、旋转和反转剪切干涉仪134
51引言34
52径向剪切干涉仪135
521径向剪切干涉图样的波前评估136
522单光程径向剪切干涉仪137
523双光程径向剪切干涉仪139
524激光径向剪切干涉仪142
525厚透镜径向剪切干涉仪146
53旋转剪切干涉仪147
531光源大小未补偿的旋转剪切干涉仪149
532光源补偿的旋转剪切干涉仪152
54反转剪切干涉仪152
参考文献155
第6章多光束干涉仪158
61发展简史158
62多光束干涉计量技术的精度160
63多光束菲佐干涉仪161
631干涉条纹的形成161
632菲佐干涉测量法165
64等色序条纹167
65多光束干涉测量中如何减少干涉条纹的间隔169
66平行平面法布里珀罗干涉仪170
661薄膜厚度的测量170
662表面平面度偏差170
67用法布里珀罗干涉仪产生的托兰斯基干涉条纹173
68检验曲面用的多光束干涉仪175
69耦合干涉仪和串联干涉仪176
691耦合干涉仪176
692串联干涉仪178
610全息多光束干涉仪178
611法布里珀罗干涉条纹近代的发展和应用178
612结束语181
参考文献182
第7章多通道干涉仪188
71双通道干涉仪188
711像差分离188
712相干条件的抑制189
713提高精度的双通道干涉仪191
72多通道干涉仪193
参考文献197
第8章傅科刀口法、细丝法及调相法199
81引言199
82傅科检验法和刀口检验法199
821说明199
822几何原理202
823物理原理208
83细丝检验法211
84普拉兹克盖维俄拉检验法215
85调相检验法218
851泽尼克检验及其与斯马特干涉仪的关系218
852利奥特检验法220
853沃尔特检验法221
86朗奇康芒检验法223
87结束语225
参考文献226
第9章朗奇（Ronchi）检验法229
91引言229
92几何原理230
921初级像差的朗奇图231
922非球面的朗奇图236
923补偿朗奇光栅237
93波面形状的测定239
931普通情况241
932旋转对称的表面243
94物理原理244
941数学分析244
942条纹的对比度和锐度247
943物理原理与几何原理的关系249
95朗奇检验法的实际应用250
96其他几种相关的检验252
961同心圆环格栅252
962扫描朗奇检验法253
963边带朗奇检验法253
964洛厄检验法254
965朗奇哈特曼和零哈特曼检验法255
97结束语256
参考文献256
第10章哈特曼光阑检验、哈特曼夏克光阑检验及其他光阑检验264
101引言264
102实例266
103矩形光阑的哈特曼检验267
104波面恢复269
1041去倾斜与离焦269
1042梯形积分法271
1043索斯韦尔算法273
1044多项式拟合274
1045其他方法274
105四孔光阑的哈特曼检验275
1051呈十字形的四孔275
1052呈X形的四孔277
106眼镜的哈特曼检验277
107采用非矩形光阑的哈特曼检验278
1071哈特曼径向光阑278
1072螺旋式光阑280
108哈特曼夏克检验280
109交叉圆柱镜测试282
1010光源阵列或者网格测试283
10101会聚透镜检验284
10102凹面和凸面的检验285
1011迈克耳逊加德纳贝尼特检验法288
1012其他进展状况290
参考文献290
第11章星点检验法293
111引言293
112小像差星点检验294
1121无像差爱里斑294
1122离焦爱里斑296
1123复合光299
1124中心遮拦系统299
1125小像差相关结论和现象299
1126高斯光束300
1127极小汇聚角（小菲涅耳数）301
113小像差实测结果301
1131目视星点检测所观测到的现象302
1132星点检验的光源302
1133星点检验光学系统简图304
1134显微镜物镜305
114大像差星点检验306
1141球差307
1142纵向色差308
1143轴对称性308
1144像散和彗差308
1145畸变309
1146非零位检验309
115由测得的斜率和曲率恢复波前310
1151拉普拉斯变换和局部平均曲率310
1152傅里叶变换迭代计算波前310
1153光强传递方程312
116根据光强传递方程由两幅离焦像求解波前313
117根据傅里叶迭代变换由一幅离焦像求解波前316
118根据菲涅耳变换迭代由两幅或三幅离焦像求解波前316
参考文献318
第12章非球面波前和镜面的检验321
121引言321
122一些检验非球面波前的方法323
123在非零位检测中干涉图的成像324
124一些零位检测的光路326
1241平面和凹球面326
1242望远镜折射式物镜327
1243凹抛物面镜327
1244凹椭球面或球面328
125凸双曲面的检测329
1251海德类型检验329
1252采用折射方式检验331
126检测圆柱面333
127早期的补偿器336
1271柯德补偿器、伯奇补偿器和罗斯补偿器336
1272多尔补偿器338
128奥夫纳补偿器340
1281折射式奥夫纳补偿器340
1282谢弗补偿器342
1283折射式补偿器总结343
129反射式补偿器343
1291反射式奥夫纳补偿器345
1292反射式自适应补偿器347
1210用于二次凹面的其他补偿检验法347
1211使用实全息图的干涉仪350
12111全息波前存储351
12112全息检测板351
1212应用综合全息图的干涉仪352
12121CGH的制作352
12122应用综合全息图的干涉仪354
12123离轴CGH非球面补偿器356
12124同轴CGH的非球面补偿器358
12125CGH与补偿光学元件的组合使用359
1213利用双波长全息图检验非球面361
1214波前拼接362
12141环形划分363
12142圆形划分363
12143动态倾斜开关363
参考文献364
第13章泽尼克多项式与波前拟合369
131简介369
132具有圆形光瞳的旋转对称系统的像差369
1321幂级数展开法369
1322初级像差函数或赛德尔像差函数371
1323二级像差函数或者施瓦兹希尔像差函数373
1324泽尼克圆多项式展开373
1325最小波像差方差时用泽尼克圆多项式表示平衡像差376
1326幂级数系数和泽尼克多项式展开项系数的关系377
1327赛德尔像差到泽尼克像差的转换378
1328泽尼克像差到赛德尔像差的转换382
133含圆形光瞳而不含旋转对称轴的像差函数383
1331泽尼克圆多项式展开383
1332指数n、m和j的关系386
1333泽尼克圆多项式像差的波面高度图、干涉图和点扩展图386
1334初阶泽尼克像差及其与赛德尔像差的关系386
134泽尼克环多项式作为环形光瞳系统的平衡像差390
1341平衡像差390
1342泽尼克环多项式390
1343泽尼克环多项式像差的波面高度分布图、干涉图和点扩展函数图396
135利用离散波前误差数据计算泽尼克系数397
1351简介397
1352正交系数和像差变量398
1353正交多项式399
1354泽尼克系数400
1355数字化举例400
136总结403
参考文献404
第14章相移干涉测量406
141导言406
142基本原理406
143PSI的优势408
144相移的方法409
145探测波前相位413
146数据采集415
1461时域方法415
1462空域方法418
147PSI算法421
1471三步算法421
1472最小二乘算法423
1473卡雷算法425
1474平均算法426
1475哈里哈伦算法427
14762+1算法429
1477生成算法的方法430
1478评估算法的方法433
1479算法总结437
148相移校准442
149误差源444
1491相移误差445
1492探测器的非线性446
1493光源稳定性449
1494量化误差449
1495振动误差450
1496空气湍流452
1497有害条纹和其他相干效应452
1498干涉仪的光学误差453
1410探测器和空间采样454
14101固体传感器454
14102空间采样455
1411品质函数457
14111调制458
14112残差459
14113滤波461
1412相位解包裹462
14121一维解包裹163
14122二维相位解包裹464
14123路径跟踪算法465
14124与路径无关的方法466
1413非球面及扩展量程的PSI技术467
14131混叠467
14132子奈奎斯特干涉法469
14133双波长PSI471
14134子孔径拼接473
1414其他分析方法474
14141零交叉分析方法474
14142同步检波474
14143外差干涉测量法475
14144锁相干涉测量法476
14145空间同步检波和傅里叶方法476
1415计算机处理和输出478
1416实现和应用480
14161商品化的测量仪器480
14162干涉仪构造482
14163绝对测量483
14164光源485
14165线性基准486
1417PSI技术的发展趋势486
参考文献487
第15章表面轮廓仪、多波长及白光干涉测量497
151表面轮廓仪介绍497
1511接触式轮廓仪497
1512光学轮廓仪497
1513干涉型光学轮廓仪498
1514确定系统性能的术语和问题498
152接触式轮廓仪499
1521探针轮廓仪499
1522扫描探针显微镜502
1523AFM和探针轮廓仪的比较510
153光学轮廓仪512
1531光学聚焦传感器512
1532共焦显微镜513
154干涉光学轮廓仪518
155双波长和多波长技术524
1551双波长相位测量524
1552多波长相位测量526
1553减少测量时间529
156白光干涉光学轮廓仪529
1561白光干涉529
1562图像构成530
1563白光干涉图的信号处理531
1564光源533
1565白光条纹色散533
1566干涉光学轮廓仪的其他名称538
157波长扫描干涉仪539
1571波长可调谐光源539
1572图像构成540
1573信号分析542
1574薄膜和平板厚度的测量544
158光谱分辨白光干涉测量544
1581图像构成544
1582信号分析546
1583光谱干涉测量的其他名称547
159偏振干涉测量548
1591微分干涉差显微镜（诺马斯基）548
1592几何相移549
1510光学测距方法552
15101干涉测距552
15102光学三角测量55
15103渡越时间（TOF）551
1511总结552
参考文献553
第16章散射表面光学检测564
161莫尔条纹与条纹投影技术564
1611简介564
1612什么是莫尔条纹565
1613莫尔条纹与干涉图568
1614历史回顾573
1615条纹投影技术584
1616阴影莫尔条纹576
1617投影莫尔条纹法578
1618双角度全息术579
1619共同特征580
16110与传统干涉仪的比较结果580
16111编码与结构光投影580
16112应用581
16113总结581
162全息与散斑测试582
1621引言582
1622用于非相消检测的全息干涉术583
1623散斑干涉术与数字全息技术587
参考文献594
第17章角度、棱镜、曲率半径和焦距的测量600
171引言600
172角度测量600
1721圆度盘和测角器600
1722自准直仪601
1723干涉法测量角度603
173棱镜的测量603
174曲率半径的测量606
1741机械方法测量曲率半径606
1742光学方法测量曲率半径608
175焦距测量610
1751光具座610
1752焦距计610
1753焦距测量的其他方法611
参考文献612
第18章光学面及其特性的数学描述616
181光学面的定义616
1811二次曲面的参数617
1812几个有用的z的展开式618
1813表面法线的像差619
182由非球面产生的焦散面620
183球面的初始像差621
1831非球面的球差621
1832凹面镜的彗差622
1833凹面镜的像散622
184像散面623
1841超环面623
1842椭球面和扁圆球面的像散624
1843球柱面626
1844被测像散面和参考像散面626
1845像散面之间的对比关系627
185离轴二次曲面628
参考文献630

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